دستگاه ایرانی لایه نشانی شیمیایی بخار به كمك پلاسما به بازار ارائه شد
یك شركت دانش بنیان دستگاه لایه نشانی شیمیایی بخار به كمك پلاسما را به بازار عرضه نموده كه با استفاده از آن می توان نانوپوشش هایی از جنس TiN را روی فولاد لایه نشانی كرد.
به گزارش روز پنجشنبه ایرنا از ستاد ویژه توسعه فناوری نانو، لایه نشانی شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما (PECVD) نوع ویژه ای از روش لایه نشانی شیمیایی از فاز بخار است که در آن به کمک پلاسما همه واکنش های CVD تحت تأثیر قرار می گیرد تا واکنش ها را به صورت موثرتری در دماهای پایین انجام دهد.
استفاده از پلاسما دمای انجام واکنش های CVD را تا مقادیر بین ۲۰۰ تا ۴۰۰ درجه سانتیگراد می کاهد، در حالیکه دمای کاری روش های پیشین CVD، در حدود دمایی ۴۲۵ تا ۹۰۰ درجه سانتیگراد است. استفاده از پلاسما دامنه گسترش روش های CVD را به قدری گسترش می دهد که پوشش دهی بیشتر مواد هادی و غیرهادی بوسیله آن امکان پذیر می شود.
لایه نشانی شیمیایی از فاز بخار یکی از مهمترین روش های پوشش دهی است که کاربرد امروزه آن هم حوزه های صنعتی و هم حوزه های تحقیقاتی را در بر گرفته است. در این میان، روش PECVD بیشتر برای تولید نانولوله های کربنی (CNTs)، نانوالیاف کربنی (CNFs) و ساخت لایه های نازک متشکل از مواد غیرآلی استفاده می شود.
این دستگاه لایه نشانی مواد مختلف برای ریزساخت ها (microfabrication) در فرم هایی نظیر تک بلورها، چندبلورها، آمورف و ساختارهای با رشد هم بافته (epitaxial) را تولید می کند. همینطور در صنایع میکروالکترونیک برای کاربردهای نیازمند به دقت ابعادی بالا و پوشش های مقاوم به سایش و خوردگی بر روی ابزارآلات، یاطاقان ها و مته ها قابل استفاده می باشد.
براساس اطلاعات انتشار یافته این دستگاه قادر به اعمال پوشش های مختلفی همچون TiN، TiC، TiCN روی زمینه هایی نظیر فولاد است. سختی بالای ۲۰۰۰ ویکرز، چسبندگی و استقامت فوق العاده بالا، ضریب اصطکاک کم و مقاومت به سایش بالا و پایداری پوشش تا دماهای ۴۰۰ تا ۷۰۰ در جه سانتیگراد همچون مزیت های پوشش بوجود آمده با این دستگاه است.
این دستگاه برای تولید نانولوله های کربنی (CNTs)، نانوالیاف کربنی (CNFs) و همینطور انواع پوشش های نانوساختار هم مناسب می باشد.
منبع: وبلاگ آفتاب
itemprop="bestRating">5
1483
این مطلب را می پسندید؟
(1)
(0)
تازه ترین مطالب مرتبط
نظرات بینندگان در مورد این مطلب